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Highly (001)-oriented α-Al2O3 films prepared by laser chemical vapor deposition

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Titel:

Highly (001)-oriented α-Al2O3 films prepared by laser chemical vapor deposition

Beteiligte:

You, Y. (Autor:in) / Ito, A. (Autor:in) / Goto, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 106 ; 11-13

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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