Structural and optical properties of RF magnetron sputtered aluminum nitride films without external substrate heating: Fid-Bau Portal

Structural and optical properties of RF magnetron sputtered aluminum nitride films without external substrate heating

Singh, A. V. / Chandra, S. / Srivastava, A. K. / Chakroborty, B. R. / Sehgal, G. / Dalai, M. K. / Bose, G.

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Titel:

Structural and optical properties of RF magnetron sputtered aluminum nitride films without external substrate heating

Beteiligte:

Singh, A. V. (Autor:in) / Chandra, S. (Autor:in) / Srivastava, A. K. (Autor:in) / Chakroborty, B. R. (Autor:in) / Sehgal, G. (Autor:in) / Dalai, M. K. (Autor:in) / Bose, G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 9568-9573

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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