Optical Interference Lithography Using Azobenzene-Functionalized Polymers for Micro- and Nanopatterning of Silicon: Fid-Bau Portal

Optical Interference Lithography Using Azobenzene-Functionalized Polymers for Micro- and Nanopatterning of Silicon

Kravchenko, A. / Shevchenko, A. / Ovchinnikov, V. / Priimagi, A. / Kaivola, M.

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Titel:

Optical Interference Lithography Using Azobenzene-Functionalized Polymers for Micro- and Nanopatterning of Silicon

Beteiligte:

Kravchenko, A. (Autor:in) / Shevchenko, A. (Autor:in) / Ovchinnikov, V. (Autor:in) / Priimagi, A. (Autor:in) / Kaivola, M. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 23 ; 4174-4177

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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