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Nanopatterning with UV Optical Lithography

Rothschild, M. / Bloomstein, T. M. / Efremow, N. / Fedynyshyn, T. H. / Fritze, M. / Pottebaum, I. / Switkes, M.

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Titel:

Nanopatterning with UV Optical Lithography

Beteiligte:

Rothschild, M. (Autor:in) / Bloomstein, T. M. (Autor:in) / Efremow, N. (Autor:in) / Fedynyshyn, T. H. (Autor:in) / Fritze, M. (Autor:in) / Pottebaum, I. (Autor:in) / Switkes, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 30 ; 942-946

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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