Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Design and Empirical Study for Coner Compensation in 25% Wt TMAH Etching on (100) Silicon Wafers
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Niu, Z.Y. (Autor:in) / Wu, X.Z. (Autor:in) / Dong, P.T. (Autor:in) / Xiao, D.B. (Autor:in) / Hou, Z.Q. (Autor:in) / Chen, Z.H. (Autor:in) / Zhang, X. (Autor:in)
KEY ENGINEERING MATERIALS ; 483 ; 9-13
01.01.2011
5 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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CORNER FINISHING MEMBER OF CONER FOR BUILDING STRUCTURES
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