Fabrication of Large Area, 70 nm Pitch Nanograting Patterns by Nanoimprint Lithography Using Flexible Polymer Stamp: Fid-Bau Portal

Fabrication of Large Area, 70 nm Pitch Nanograting Patterns by Nanoimprint Lithography Using Flexible Polymer Stamp

Meng, F.T. / Chu, J.K. / Luo, G. / Han, Z.T. / Wang, Z.W.

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Titel:

Fabrication of Large Area, 70 nm Pitch Nanograting Patterns by Nanoimprint Lithography Using Flexible Polymer Stamp

Beteiligte:

Meng, F.T. (Autor:in) / Chu, J.K. (Autor:in) / Luo, G. (Autor:in) / Han, Z.T. (Autor:in) / Wang, Z.W. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 483 ; 48-52

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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