A Biaxial Capacitive Microaccelerometer with a Single Proof-Mass: Fid-Bau Portal

A Biaxial Capacitive Microaccelerometer with a Single Proof-Mass

Liu, Y. / Wen, Z.Y. / Chen, L. / He, X.F. / Wang, S.Q.

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Titel:

A Biaxial Capacitive Microaccelerometer with a Single Proof-Mass

Beteiligte:

Liu, Y. (Autor:in) / Wen, Z.Y. (Autor:in) / Chen, L. (Autor:in) / He, X.F. (Autor:in) / Wang, S.Q. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 483 ; 148-153

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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