Design and Simulation of a Capacitive Biaxial Microaccelerometer: Fid-Bau Portal

Design and Simulation of a Capacitive Biaxial Microaccelerometer

Liu, Y. / Wen, Z.Y. / Chen, L. / Yang, H.Y.

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Titel:

Design and Simulation of a Capacitive Biaxial Microaccelerometer

Beteiligte:

Liu, Y. (Autor:in) / Wen, Z.Y. (Autor:in) / Chen, L. (Autor:in) / Yang, H.Y. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 194-200

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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