Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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A High Pressure Sensor with Circular Diaphragm Based on MEMS Technology
A High Pressure Sensor with Circular Diaphragm Based on MEMS Technology
A High Pressure Sensor with Circular Diaphragm Based on MEMS Technology
Zhao, L.B. (Autor:in) / Fang, X.D. (Autor:in) / Zhao, Y.L. (Autor:in) / Jiang, Z.D. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in)
KEY ENGINEERING MATERIALS ; 483 ; 206-211
01.01.2011
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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The Vibration Pickup of Micro-Pump Diaphragm Based on MEMS Technology Design
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