The Vibration Pickup of Micro-Pump Diaphragm Based on MEMS Technology Design: Fid-Bau Portal

The Vibration Pickup of Micro-Pump Diaphragm Based on MEMS Technology Design

Li, G. / Li, L. / Zhao, X.F. / Wen, D.Z. / Yu, Y.

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Titel:

The Vibration Pickup of Micro-Pump Diaphragm Based on MEMS Technology Design

Beteiligte:

Li, G. (Autor:in) / Li, L. (Autor:in) / Zhao, X.F. (Autor:in) / Wen, D.Z. (Autor:in) / Yu, Y. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

MICRO-NANO TECHNOLOGY XV ; 837-841

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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