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    Titel:

    Effects of hydrogen on photoluminescence properties of a-SiNx:H films prepared by VHF-PECVD

    Beteiligte:

    Song, C. (Autor:in) / Huang, R. (Autor:in) / Wang, X. (Autor:in) / Guo, Y. (Autor:in) / Song, J. (Autor:in) / Zhang, Y. (Autor:in) / Zheng, Z. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 1290-1293

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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