Photoluminescence Properties of Silicon Nitride Prepared by VHF-PECVD: Fid-Bau Portal

Photoluminescence Properties of Silicon Nitride Prepared by VHF-PECVD

Song, J. / Guo, Y.Q. / Song, C. / Wang, X.

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Titel:

Photoluminescence Properties of Silicon Nitride Prepared by VHF-PECVD

Beteiligte:

Song, J. (Autor:in) / Guo, Y.Q. (Autor:in) / Song, C. (Autor:in) / Wang, X. (Autor:in) / Zhang, C. / Zhang, L.

Erschienen in:

Materials Science and Nanotechnology I ; 392-395

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 531/532

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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