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    Structural and optical properties of high density Si-ncs synthesized in SiNx:H by remote PECVD and annealing

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    Titel:

    Structural and optical properties of high density Si-ncs synthesized in SiNx:H by remote PECVD and annealing

    Beteiligte:

    Carrada, M. (Autor:in) / Zerga, A. (Autor:in) / Amann, M. (Autor:in) / Grob, J. J. (Autor:in) / Stoquert, J. P. (Autor:in) / Slaoui, A. (Autor:in) / Bonafos, C. (Autor:in) / Schamm, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 147 ; 218-221

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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