Replacing diamond cutting tools with CBN for efficient nanometric cutting of silicon: Fid-Bau Portal

Replacing diamond cutting tools with CBN for efficient nanometric cutting of silicon

Goel, S. / Luo, X. / Reuben, R. L. / Rashid, W. B.

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Titel:

Replacing diamond cutting tools with CBN for efficient nanometric cutting of silicon

Beteiligte:

Goel, S. (Autor:in) / Luo, X. (Autor:in) / Reuben, R. L. (Autor:in) / Rashid, W. B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 68 ; 507-509

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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