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    Titel:

    Graphitization Wear of Diamond Tool in Nanometric Cutting of Single Crystal Silicon

    Beteiligte:

    Wang, J.C. (Autor:in) / Xin, M.M. (Autor:in) / Cao, S.Y. (Autor:in) / Zhao, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 609/610 ; 751-757

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2014

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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