A novel submicron-gap electrode fabrication technology using thermal oxidation: Fid-Bau Portal

A novel submicron-gap electrode fabrication technology using thermal oxidation

Chen, X. / Zhang, J. / Xu, H. / Hui, S. / Zhu, M.

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Titel:

A novel submicron-gap electrode fabrication technology using thermal oxidation

Beteiligte:

Chen, X. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in) / Xu, H. (Autor:in) / Hui, S. (Autor:in) / Zhu, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING C MATERIALS FOR BIOLOGICAL APPLICATIONS ; 32 ; 369-374

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0928-4931

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 572.05

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