Dose Influence on Physical and Electrical Properties of Nitrogen Implantation in 3C-SiC on Si: Fid-Bau Portal

Dose Influence on Physical and Electrical Properties of Nitrogen Implantation in 3C-SiC on Si

Song, X. / Biscarrat, J. / Bazin, A.E. / Michaud, J.F. / Cayrel, F. / Zielinski, M. / Chassagne, T. / Portail, M. / Collard, E. / Alquier, D.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dose Influence on Physical and Electrical Properties of Nitrogen Implantation in 3C-SiC on Si

Song, X. / Biscarrat, J. / Bazin, A.E. / Michaud, J.F. / Cayrel, F. / Zielinski, M. / Chassagne, T. / Portail, M. / Collard, E. / Alquier, D.

Dose Influence on Physical and Electrical Properties of Nitrogen Implantation in 3C-SiC on Si

Song, X. / Biscarrat, J. / Bazin, A.E. / Michaud, J.F. / Cayrel, F. / Zielinski, M. / Chassagne, T. / Portail, M. / Collard, E. / Alquier, D.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Dose Influence on Physical and Electrical Properties of Nitrogen Implantation in 3C-SiC on Si

Beteiligte:

Song, X. (Autor:in) / Biscarrat, J. (Autor:in) / Bazin, A.E. (Autor:in) / Michaud, J.F. (Autor:in) / Cayrel, F. (Autor:in) / Zielinski, M. (Autor:in) / Chassagne, T. (Autor:in) / Portail, M. (Autor:in) / Collard, E. (Autor:in) / Alquier, D. (Autor:in)

Erschienen in:

HeteroSiC & WASMPE 2011 ; 154-158

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 711

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Michaud, J.F. / Song, X. / Biscarrat, J. et al. | British Library Online Contents | 2013

Influence of Nitrogen Implantation on Electrical Properties of Al/SiO~2/4H-SiC MOS Structure

Krol, K. / Sochacki, M. / Turek, M. et al. | British Library Online Contents | 2013

Correlation of electrical and microstructural properties after high dose aluminium implantation into 6H-SiC

Panknin, D. / Wirth, H. / Mucklich, A. et al. | British Library Online Contents | 1999

High Dose Implantation in 6H-SiC

Heera, V. / Skorupa, W. / Stoemenos, J. et al. | British Library Online Contents | 2001

Surface Modification of Pure Titanium by Nitrogen Ion Implantation at Different Beam Energy and Dose

Ali, N. / Samekto, H. / Ghazali, M.I. et al. | British Library Online Contents | 2011

Nach oben