Correlation of electrical and microstructural properties after high dose aluminium implantation into 6H-SiC: Fid-Bau Portal

Correlation of electrical and microstructural properties after high dose aluminium implantation into 6H-SiC

Panknin, D. / Wirth, H. / Mucklich, A. / Skorupa, W.

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Titel:

Correlation of electrical and microstructural properties after high dose aluminium implantation into 6H-SiC

Beteiligte:

Panknin, D. (Autor:in) / Wirth, H. (Autor:in) / Mucklich, A. (Autor:in) / Skorupa, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 61-62 ; 363 - 367

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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