Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Novel Patterning Technologies for Ceramic MEMS
Novel Patterning Technologies for Ceramic MEMS
Novel Patterning Technologies for Ceramic MEMS
Wilhelm, S. (Autor:in) / Lacrotte, Y. (Autor:in) / Kay, R.W. (Autor:in) / Desmulliez, M.P.Y. (Autor:in)
ADVANCING MICROELECTRONICS ; 39 ; 18-23
01.01.2012
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.381
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Enabling technologies for MEMS and nanodevices
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