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Characterization of indium tin oxide films by RF-assisted DC magnetron sputtering

Houng, B. / Wang, A.

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Titel:

Characterization of indium tin oxide films by RF-assisted DC magnetron sputtering

Beteiligte:

Houng, B. (Autor:in) / Wang, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 5593-5598

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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