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New Isolation Optimization Method of RF MEMS Capacitive Switches

Chen, J.S. / You, Z. / Ruan, Y. / Hu, M.Z.

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Titel:

New Isolation Optimization Method of RF MEMS Capacitive Switches

Beteiligte:

Chen, J.S. (Autor:in) / You, Z. (Autor:in) / Ruan, Y. (Autor:in) / Hu, M.Z. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 35-42

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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