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MEMS Grating with Interdigitated-Comb Structure

Zhang, H. / Yao, J. / Tao, F.G. / Zhuang, X.Y.

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Titel:

MEMS Grating with Interdigitated-Comb Structure

Beteiligte:

Zhang, H. (Autor:in) / Yao, J. (Autor:in) / Tao, F.G. (Autor:in) / Zhuang, X.Y. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 49-54

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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