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Gap Adjustable MEMS Comb Resonator

Pu, X. / Li, W.H. / Zhou, Z.F. / Huang, Q.G.

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Titel:

Gap Adjustable MEMS Comb Resonator

Beteiligte:

Pu, X. (Autor:in) / Li, W.H. (Autor:in) / Zhou, Z.F. (Autor:in) / Huang, Q.G. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 1171-1176

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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