Local Anodic Oxidation of Phosphorus-Implanted 4H-SiC by Atomic Force Microscopy: Fid-Bau Portal

Local Anodic Oxidation of Phosphorus-Implanted 4H-SiC by Atomic Force Microscopy

Lee, J.H. / Ahn, J.J. / Hallen, A. / Zetterling, C.M. / Koo, S.M.

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Titel:

Local Anodic Oxidation of Phosphorus-Implanted 4H-SiC by Atomic Force Microscopy

Beteiligte:

Lee, J.H. (Autor:in) / Ahn, J.J. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in) / Zetterling, C.M. (Autor:in) / Koo, S.M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 717/720 ; 905-910

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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