Preparation of n^+ emitter on p-type silicon wafer using the spin-on doping method: Fid-Bau Portal

Preparation of n^+ emitter on p-type silicon wafer using the spin-on doping method

Tang, Y. / Wang, G. / Hu, Z. / Qin, X. / Du, G. / Shi, W.

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Titel:

Preparation of n^+ emitter on p-type silicon wafer using the spin-on doping method

Beteiligte:

Tang, Y. (Autor:in) / Wang, G. (Autor:in) / Hu, Z. (Autor:in) / Qin, X. (Autor:in) / Du, G. (Autor:in) / Shi, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 15 ; 359-363

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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