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    Titel:

    Frank Partial Dislocation in 4H-SiC Epitaxial Layer by MSE Method

    Beteiligte:

    Hamada, S. (Autor:in) / Yoshioka, H. (Autor:in) / Kawami, H. (Autor:in) / Nakamura, N. (Autor:in) / Setoguchi, Y. (Autor:in) / Matsunami, T. (Autor:in) / Nishikawa, K. (Autor:in) / Isshiki, T. (Autor:in) / Yamada-Kaneta, H. / Sakai, A.

    Erschienen in:

    Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors XIV ; 31-34

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 725

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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