Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars: Fid-Bau Portal

Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars

Choi, J. H. / Latu-Romain, L. / Bano, E. / Henry, A. / Lee, W. J. / Chevolleau, T. / Baron, T.

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Titel:

Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars

Beteiligte:

Choi, J. H. (Autor:in) / Latu-Romain, L. (Autor:in) / Bano, E. (Autor:in) / Henry, A. (Autor:in) / Lee, W. J. (Autor:in) / Chevolleau, T. (Autor:in) / Baron, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 87 ; 9-12

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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