Effect of propane/silane ratio on the growth of 3C-SiC thin films on Si(100) substrates by APCVD: Fid-Bau Portal

Effect of propane/silane ratio on the growth of 3C-SiC thin films on Si(100) substrates by APCVD

Shi, B. / Liu, X. C. / Zhu, M. X. / Yang, J. H. / Shi, E. W.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Effect of propane/silane ratio on the growth of 3C-SiC thin films on Si(100) substrates by APCVD

Shi, B. / Liu, X. C. / Zhu, M. X. / Yang, J. H. / Shi, E. W.

Effect of propane/silane ratio on the growth of 3C-SiC thin films on Si(100) substrates by APCVD

Shi, B. / Liu, X. C. / Zhu, M. X. / Yang, J. H. / Shi, E. W.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Effect of propane/silane ratio on the growth of 3C-SiC thin films on Si(100) substrates by APCVD

Beteiligte:

Shi, B. (Autor:in) / Liu, X. C. (Autor:in) / Zhu, M. X. (Autor:in) / Yang, J. H. (Autor:in) / Shi, E. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 259 ; 685-690

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Wang, Y. / Wu, Y. / Qin, Y. et al. | British Library Online Contents | 2011

Photoluminescence of SnO~2 Films Prepared by APCVD

Ji, F. / Ma, J. / Wang, Y. et al. | British Library Online Contents | 2005

Structural, optical and electrochemical properties of TiO2 thin films grown by APCVD method

Quinonez, C. / Vallejo, W. / Gordillo, G. | British Library Online Contents | 2010

The Microstructure and Surface Morphology of Thin 3C-SiC Films Grown on (100) Si Substrates Using an APCVD-Based Carbonization Process

Wu, C. H. / Chung, J. / Hong, M. H. et al. | British Library Online Contents | 2001

Iridium catalyzed growth of vertically aligned CNTs by APCVD

Sahoo, R. K. / Jacob, C. | British Library Online Contents | 2014

Nach oben