The Microstructure and Surface Morphology of Thin 3C-SiC Films Grown on (100) Si Substrates Using an APCVD-Based Carbonization Process: Fid-Bau Portal

The Microstructure and Surface Morphology of Thin 3C-SiC Films Grown on (100) Si Substrates Using an APCVD-Based Carbonization Process

Wu, C. H. / Chung, J. / Hong, M. H. / Zorman, C. A. / Pirouz, P. / Mehregany, M.

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Titel:

The Microstructure and Surface Morphology of Thin 3C-SiC Films Grown on (100) Si Substrates Using an APCVD-Based Carbonization Process

Beteiligte:

Wu, C. H. (Autor:in) / Chung, J. (Autor:in) / Hong, M. H. (Autor:in) / Zorman, C. A. (Autor:in) / Pirouz, P. (Autor:in) / Mehregany, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 167-170

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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