A Prototype MEMS Actuator Driven by Magnetic Fluid Enclosed with Polyimide Diaphragms: Fid-Bau Portal

A Prototype MEMS Actuator Driven by Magnetic Fluid Enclosed with Polyimide Diaphragms

Okubo, Y. / Ota, H. / Syoji, K. / Imai, S.

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Titel:

A Prototype MEMS Actuator Driven by Magnetic Fluid Enclosed with Polyimide Diaphragms

Beteiligte:

Okubo, Y. (Autor:in) / Ota, H. (Autor:in) / Syoji, K. (Autor:in) / Imai, S. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 523/524 ; 557-562

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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