Anti-adhesion treatment for nanoimprint stamps using atmospheric pressure plasma CVD (APPCVD): Fid-Bau Portal

Anti-adhesion treatment for nanoimprint stamps using atmospheric pressure plasma CVD (APPCVD)

Wu, C. L. / Yang, C. Y. / An, T. P. / Lin, J. W. / Sung, C. K.

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Titel:

Anti-adhesion treatment for nanoimprint stamps using atmospheric pressure plasma CVD (APPCVD)

Beteiligte:

Wu, C. L. (Autor:in) / Yang, C. Y. (Autor:in) / An, T. P. (Autor:in) / Lin, J. W. (Autor:in) / Sung, C. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 261 ; 441-446

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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