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    Titel:

    High Aspect Ratio Sub-15 nm Silicon Trenches From Block Copolymer Templates

    Beteiligte:

    Gu, X. (Autor:in) / Liu, Z. (Autor:in) / Gunkel, I. (Autor:in) / Chourou, S. T. (Autor:in) / Hong, S. W. (Autor:in) / Olynick, D. L. (Autor:in) / Russell, T. P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 24 ; 5688-5694

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0935-9648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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