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    Titel:

    Electrostatic discharge simulation and experimental analysis of electrostatic control in electronic device manufacturing

    Beteiligte:

    Chakkaew, A. (Autor:in) / Titiroongruang, W. (Autor:in) / Yin, J. / Zhao, X.

    Erschienen in:

    Special Issue on Advances in Electronic Materials and Microelectromechanical Systems Product ; 160-173

    INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS AND PRODUCT TECHNOLOGY ; 44

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    14 pages

    ISSN:

    0268-1900

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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