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    Titel:

    Tailored Star Block Copolymer Architecture for High Performance Chemically Amplified Resists

    Beteiligte:

    Wieberger, F. (Autor:in) / Neuber, C. (Autor:in) / Ober, C. K. (Autor:in) / Schmidt, H. W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 24 ; 5939-5944

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0935-9648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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