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Polycrystalline silicon thin films by aluminum induced crystallization of amorphous silicon

Wang, T. / Yan, H. / Zhang, M. / Song, X. / Pan, Q. / He, T. / Hu, Z. / Jia, H. / Mai, Y.

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Titel:

Polycrystalline silicon thin films by aluminum induced crystallization of amorphous silicon

Beteiligte:

Wang, T. (Autor:in) / Yan, H. (Autor:in) / Zhang, M. (Autor:in) / Song, X. (Autor:in) / Pan, Q. (Autor:in) / He, T. (Autor:in) / Hu, Z. (Autor:in) / Jia, H. (Autor:in) / Mai, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 264 ; 11-16

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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