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Thin-film piezoelectric MEMS

Eom, C.-B. / Trolier-McKinstry, S.

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Titel:

Thin-film piezoelectric MEMS

Beteiligte:

Eom, C.-B. (Autor:in) / Trolier-McKinstry, S. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 37 ; 1007

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

1007 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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