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    Titel:

    Piezoelectric and electrical properties of PZT-PSN thin film ceramics for MEMS applications

    Beteiligte:

    Kim, S. K. (Autor:in) / Kim, C. S. (Autor:in) / Lee, K. W. (Autor:in) / Lee, S. Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 115-121

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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