Epitaxial PZT films for MEMS printing applications: Fid-Bau Portal

Epitaxial PZT films for MEMS printing applications

Funakubo, H. / Dekkers, M. / Sambri, A. / Gariglio, S. / Shklyarevskiy, I. / Rijnders, G.

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Titel:

Epitaxial PZT films for MEMS printing applications

Beteiligte:

Funakubo, H. (Autor:in) / Dekkers, M. (Autor:in) / Sambri, A. (Autor:in) / Gariglio, S. (Autor:in) / Shklyarevskiy, I. (Autor:in) / Rijnders, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 37 ; 1030

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

1030 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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