Mechanical deformation of PZT thin films for MEMS applications: Fid-Bau Portal

Mechanical deformation of PZT thin films for MEMS applications

Bahr, D. F. / Robach, J. S. / Wright, J. S. / Francis, L. F. / Gerberich, W. W.

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Titel:

Mechanical deformation of PZT thin films for MEMS applications

Beteiligte:

Bahr, D. F. (Autor:in) / Robach, J. S. (Autor:in) / Wright, J. S. (Autor:in) / Francis, L. F. (Autor:in) / Gerberich, W. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 259 ; 126-131

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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