Optical characterization of polysilazane based silica thin films on silicon substrates: Fid-Bau Portal

Optical characterization of polysilazane based silica thin films on silicon substrates

Ricci, P. C. / Gulleri, G. / Fumagalli, F. / Carbonaro, C. M. / Corpino, R.

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Titel:

Optical characterization of polysilazane based silica thin films on silicon substrates

Beteiligte:

Ricci, P. C. (Autor:in) / Gulleri, G. (Autor:in) / Fumagalli, F. (Autor:in) / Carbonaro, C. M. (Autor:in) / Corpino, R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 265 ; 470-474

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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