Effects of power on properties of ZnO thin films grown by radio frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Effects of power on properties of ZnO thin films grown by radio frequency magnetron sputtering

Zhao, Y. J. / Jiang, D. Y. / Zhao, M. / Deng, R. / Qin, J. M. / Gao, S. / Liang, Q. C. / Zhao, J. X.

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Titel:

Effects of power on properties of ZnO thin films grown by radio frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Zhao, Y. J. (Autor:in) / Jiang, D. Y. (Autor:in) / Zhao, M. (Autor:in) / Deng, R. (Autor:in) / Qin, J. M. (Autor:in) / Gao, S. (Autor:in) / Liang, Q. C. (Autor:in) / Zhao, J. X. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 266 ; 440-444

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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