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Study on Parameters of MEMS Accelerometer

Ma, S.M. / Chen, C. / Wang, T. / Zhang, H. / Zhou, H.X.

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Titel:

Study on Parameters of MEMS Accelerometer

Beteiligte:

Ma, S.M. (Autor:in) / Chen, C. (Autor:in) / Wang, T. (Autor:in) / Zhang, H. (Autor:in) / Zhou, H.X. (Autor:in) / Zhang, C. / Zhang, L.

Erschienen in:

Materials Science and Nanotechnology I ; 496-499

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 531/532

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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