Si(100) Etching in Alkaline Fluoride Solution: Fid-Bau Portal

Si(100) Etching in Alkaline Fluoride Solution

Chu, Q.-m. / Liu, X. / Zhang, P.-x. / Dai, Y.-n.

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Titel:

Si(100) Etching in Alkaline Fluoride Solution

Beteiligte:

Chu, Q.-m. (Autor:in) / Liu, X. (Autor:in) / Zhang, P.-x. (Autor:in) / Dai, Y.-n. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 30 ; 940-942

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1673-2812

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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