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Subsurface measurement of nanostructures on GaAs by electrostatic force microscopy

Yamada, F. / Kamiya, I.

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Titel:

Subsurface measurement of nanostructures on GaAs by electrostatic force microscopy

Beteiligte:

Yamada, F. (Autor:in) / Kamiya, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 271 ; 131-135

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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