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    Titel:

    Fabrication of the similar porous alumina silicon template for soft UV nanoimprint lithography

    Beteiligte:

    Sun, T. (Autor:in) / Xu, Z. (Autor:in) / Zhao, W. (Autor:in) / Wu, X. (Autor:in) / Liu, S. (Autor:in) / Zhang, Z. (Autor:in) / Wang, S. (Autor:in) / Liu, W. (Autor:in) / Peng, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 276 ; 363-368

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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