Local Doping of Silicon Using Nanoimprint Lithography and Molecular Monolayers: Fid-Bau Portal

Local Doping of Silicon Using Nanoimprint Lithography and Molecular Monolayers

Voorthuijzen, W. P. / Yilmaz, M. D. / Naber, W. J. / Huskens, J. / van der Wiel, W. G.

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Titel:

Local Doping of Silicon Using Nanoimprint Lithography and Molecular Monolayers

Beteiligte:

Voorthuijzen, W. P. (Autor:in) / Yilmaz, M. D. (Autor:in) / Naber, W. J. (Autor:in) / Huskens, J. (Autor:in) / van der Wiel, W. G. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 23 ; 1346-1350

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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