Influence of non-Gaussian roughness on sputter depth profiles: Fid-Bau Portal

Influence of non-Gaussian roughness on sputter depth profiles

Liu, Y. / Jian, W. / Wang, J. Y. / Hofmann, S. / Kovac, J.

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Titel:

Influence of non-Gaussian roughness on sputter depth profiles

Beteiligte:

Liu, Y. (Autor:in) / Jian, W. (Autor:in) / Wang, J. Y. (Autor:in) / Hofmann, S. (Autor:in) / Kovac, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 276 ; 447-453

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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