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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Exploring the benefits of depositing hard TiN thin films by non-reactive magnetron sputtering

    Beteiligte:

    Martinez-Martinez, D. (Autor:in) / Lopez-Cartes, C. (Autor:in) / Fernandez, A. (Autor:in) / Sanchez-Lopez, J. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 275 ; 121-126

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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