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    Titel:

    Modelling and Optimization of DLC Film Thickness Variation for PECVD Processes

    Beteiligte:

    Li, Z.L. (Autor:in) / Fu, X.H. (Autor:in) / Lu, J. (Autor:in) / Yang, Y.L. (Autor:in) / Sun, D.G. (Autor:in) / Fu, Y.

    Erschienen in:

    Advances in Optics Manufacture ; 214-220

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 552

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2013

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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