Crystallization Mechanism of Si Film by PECVD: Fid-Bau Portal

Crystallization Mechanism of Si Film by PECVD

Bai, X.-y. / Guo, Q.-c. / Liu, Q. / Pang, H.-j. / Zhang, Y.-q. / Li, H.-b.

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Titel:

Crystallization Mechanism of Si Film by PECVD

Beteiligte:

Bai, X.-y. (Autor:in) / Guo, Q.-c. (Autor:in) / Liu, Q. (Autor:in) / Pang, H.-j. (Autor:in) / Zhang, Y.-q. (Autor:in) / Li, H.-b. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 31 ; 361-364

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1673-2812

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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